ST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準,專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。 |
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準電源和運算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。 |
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◆ 特點: |
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1 | 采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分,測量準確穩(wěn)定,低功耗; | 2 | 以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰; | 3 | 采用單個電池供電,帶電池欠壓指示; | 4 | 體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g; | 5 | 特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜 | 6 | 探頭帶抗靜電模塊 |
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◆ 技術(shù)指標: |
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測量范圍 | 按方塊電阻量值大小分為二個量程檔: 1.方塊電阻 1.00~199.99Ω/□; 2.方塊電阻 10.0~1999.9Ω/□; Z小分辨率:0.01Ω/□ | 恒流源 | 測量過程誤差:≤±0.8% | 模數(shù)轉(zhuǎn)換器 | 量程:0~199.99mv; 分辨率:10μv; 方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數(shù)點同步顯示; | 測量不確定度 | 在整個量程范圍內(nèi),測量不確定度≤5% | 四探針探頭規(guī)格 | 間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ | 電源 | 9V疊層電池1節(jié) |
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◆ ST-21方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格: |
型號 (Model) | 曲率半徑 (Radius) | 壓力 (loads) | 探針間距 (spacing) | 探針排列 (Arrangement) | HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直線 | HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直線 | HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直線 | HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直線 |
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◆ ST-21方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格: |
型號 (Model) | 曲率半徑 (Radius) | 壓力 (loads) | 探針間距 (spacing) | 探針排列 (Arrangement) | SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
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